Karakteristike:

1) Brzina nitriranja je veća, ciklus nitriranja se može odgovarajuće skratiti, a vrijeme ionskog nitriranja se može skratiti na 1/3-2/3 vremena plinskog nitriranja.

2) Krhkost nitriranog sloja je mala, a bijeli sloj formiran na površini plazma nitriranja je vrlo tanak ili ga čak ni nema. Osim toga, deformacija uzrokovana nitriranim slojem je mala, što je posebno pogodno za precizne dijelove složenih oblika.

3) Može se uštedjeti potrošnja energije i amonijaka. Potrošnja električne energije je 1/2-1/5 potrošnje plinskog nitriranja, a potrošnja amonijaka je 1/5-1/20 potrošnje plinskog nitriranja.

4) Lako je realizovati lokalno nitriranje, sve dok dio koji ne želi nitriranje ne proizvodi sjaj, dio koji nije nitriran je lako zaštititi, a sjaj se može zaštititi mehaničkim oklopom i željeznom pločom.

5) Bombardovanje ionima može pročistiti površinu i automatski ukloniti pasivizirajući film. Nehrđajući čelik i čelik otporan na toplinu mogu se direktno nitrirati bez prethodnog uklanjanja pasivizirajućeg filma.

6) Struktura složenog sloja, debljina i struktura infiltracijskog sloja mogu se kontrolirati.

7) Raspon temperatura obrade je širok, a određena debljina nitriranog sloja može se dobiti čak i ispod 350 C.

8) Poboljšani su uslovi rada. Tretman nitriranjem plazmom, bez zagađenja, provodi se pod vrlo niskim pritiskom sa vrlo malo ispušnih gasova. Izvor gasa je azot, vodonik i amonijak, i u osnovi se ne proizvode štetne materije.

9) Može se primijeniti na sve vrste materijala, uključujući nehrđajući čelik, čelik otporan na toplinu s visokom temperaturom nitriranja, alatni čelik i precizne dijelove s niskom temperaturom nitriranja, dok je nitriranje na niskim temperaturama prilično teško za plinsko nitriranje.